集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法 | |
林慧; 黎华; 张国栋; 欧红师; 丁海鹏; 杜如虚 | |
2012-12-31 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | 201210592053.8 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 深圳先进技术研究院 |
授权日期 | 2016-04-20 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.siat.ac.cn:8080/handle/172644/9428] ![]() |
专题 | 深圳先进技术研究院_先进院专利 |
作者单位 | 2012-12-31 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 林慧,黎华,张国栋,等. 集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法. 201210592053.8. 2012-12-31. |
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