不同基底上SiO_2薄膜红外波段的水吸收特性

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	不同基底上SiO_2薄膜红外波段的水吸收特性
	李豪 ; 易葵 ; 崔云 ; 范正修
刊名	中国激光
	2014
卷号	41 期号:7 页码:707001
关键词	薄膜 SiO_2薄膜水吸收特性红外漫反射光谱原子力量微镜分析
其他题名	Substrate Effects on the Water Absorption of Infrared SiO_2 Film
中文摘要	研究了SiO_2薄膜的微结构与水吸收特性之间的内在联系,分别在Si、Al_2O_3和JGS3基底应用电子束蒸发沉积SiO_2薄膜。实验用原位傅里叶红外漫反射光谱(in-situ DRIFTS)检测薄膜水吸收特性,并结合原子力显微镜(AFM)进行微结构分析。实验发现:常温吸附状态时,薄膜表面的孔隙数目越多,SiO_2薄膜水吸收量越大;薄膜表面粗糙度影响薄膜水吸收特性;升温过程薄膜出现退吸附现象以及蓝移效应。
英文摘要	SiO_2 films are deposited on Al_2O_3、JGS3 and Si substrate by electron beam technology.In-situ diffuse reflectance infrared Fourier transform spectroscopy(DRIFTS)and atomic force microscope(AFM)tests are used to demonstrate the relationship between the water absorption and the microstructure of the SiO_2 films.The in-situ DRIFTS and AFM results indicate that the water absorption is enhanced while number of pores on the film surface increased.The peaks of absorption center is determined by the surface roughness of the films.Blue-shifted of absorption are evidently observed while the temperature increased from 25℃ to 220℃.
收录类别	EI
语种	中文
内容类型	期刊论文
版本	出版稿
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/12840]
专题	上海光学精密机械研究所_中科院强激光材料重点实验室
作者单位	1.李豪, 中国科学院上海精密机械研究所, 上海 201800, 中国. 2.易葵, 中国科学院上海精密机械研究所, 上海 201800, 中国. 3.崔云, 中国科学院上海精密机械研究所, 上海 201800, 中国. 4.范正修, 中国科学院上海精密机械研究所, 上海 201800, 中国.
推荐引用方式 GB/T 7714	李豪,易葵,崔云,等. 不同基底上SiO_2薄膜红外波段的水吸收特性[J]. 中国激光,2014,41(7):707001.
APA	李豪,易葵,崔云,&范正修.(2014).不同基底上SiO_2薄膜红外波段的水吸收特性.中国激光,41(7),707001.
MLA	李豪,et al."不同基底上SiO_2薄膜红外波段的水吸收特性".中国激光 41.7(2014):707001.