新型AgInSbTe相变薄膜的结晶活化能研究

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	新型AgInSbTe相变薄膜的结晶活化能研究; Activation energy for the crystallization of the new type AgInSbTe phase change films
	张广军 ; 顾冬红 ; 李青会 ; 干福熹 ; 刘音诗
刊名	无机材料学报
	2005
卷号	20 期号:1 页码:230
关键词	新型AgInSbTe相变薄膜 new type AgInSbtTe phase change films 结晶动力学 crystallization kinetics XRD XRD DSC DSC
ISSN号	1000-324X
其他题名	Activation energy for the crystallization of the new type AgInSbTe phase change films
中文摘要	利用磁控溅射法制备了新型AgInSbTe相变薄膜，热处理前后的X射线衍射(XRD)表明了薄膜在热作用下从非晶态转变到晶态．通过非晶态薄膜粉末的示差扫描量热(DSC)实验测定了不同升温速率条件下的结晶峰温度，计算了粉末的摩尔结晶活化能、原子激活能和频率因子,从结晶活化能E可以判断出新型AgInSbTe相变薄膜具有较高的结晶速度，可以用于高速可擦重写相变光盘．; A new type AgInSbTe phase change film was prepared by direct magnetron sputtering. X-ray diffraction (XRD) spectra of the film in as-deposited and heat-treated states show the film changed from amorphous to crystalline states due to heat-treatment. By using differential scanning calorimetry (DSC) data of the amorphous film materials, measuring the peak temperature of crystallization at different heating rates, the mol activation energies for crystallization and frequency factors were calculated. By judging from the mol activation energies, the new type AgInSbTe phase change film has a high value of activation energies for crystallization and will be suitable to the high-speed phase change disks for the direct overwrite.
学科主题	光存储
分类号	O795
收录类别	ei
语种	中文
公开日期	2009-09-22 ; 2010-10-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/3769]
专题	上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	张广军,顾冬红,李青会,等. 新型AgInSbTe相变薄膜的结晶活化能研究, Activation energy for the crystallization of the new type AgInSbTe phase change films[J]. 无机材料学报,2005,20(1):230, 234.
APA	张广军,顾冬红,李青会,干福熹,&刘音诗.(2005).新型AgInSbTe相变薄膜的结晶活化能研究.无机材料学报,20(1),230.
MLA	张广军,et al."新型AgInSbTe相变薄膜的结晶活化能研究".无机材料学报 20.1(2005):230.