离轴三反系统的无应力装调

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	离轴三反系统的无应力装调
	梅贵; 翟岩; 曲贺盟; 浦前帅
刊名	光学精密工程
	2015-12-15
期号	12 页码:3414-3421
关键词	离轴三反系统无应力装调计算机辅助装调波像差
中文摘要	为了解决离轴三反光学系统装调过程中由于连接、紧固、温度变化等产生的应力导致反射镜面形和系统像质恶化的问题,提出了无应力结构设计和装调方法。采用内外框结合的方法设计反射镜组件,同时设置柔性变形环节,增加应力源与镜面间传递距离来削弱应力对反射镜面形的影响。系统框架采用非固定的定位方式,使用3个高精度钢球和相应的锥形孔、V型槽和平面底座约束框架的六自由度,通过两个基准立方镜和莱卡经纬仪监视框架的微位移,数显千分表监视反射镜六维调整架的移动和复位。经初装调和计算机辅助精装调后,系统全视场平均波像差均方根(RMS)值达到0.068λ;修垫、连接后为0.070λ,在奈奎斯特频率处的全视场平均调制传递函数(MTF)为0.720,均满足设计指标,得到的结果证明了装调方法的可行性。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53991]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	梅贵,翟岩,曲贺盟,等. 离轴三反系统的无应力装调[J]. 光学精密工程,2015(12):3414-3421.
APA	梅贵,翟岩,曲贺盟,&浦前帅.(2015).离轴三反系统的无应力装调.光学精密工程(12),3414-3421.
MLA	梅贵,et al."离轴三反系统的无应力装调".光学精密工程 .12(2015):3414-3421.