大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计

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	大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计
	糜小涛; 于宏柱; 高键翔; 于海利; 张善文; 齐向东
刊名	仪器仪表学报
	2015-02-15
期号	02 页码:473-480
关键词	微定位系统控制器设计数学模型定位精度
中文摘要	针对衍射光栅刻划机开环控制的定位精度不能满足指标要求的问题,在刻划机已有的状态和结构下,设计了微定位系统的控制器。首先,介绍了衍射光栅刻划机,分析了微定位系统及其定位精度指标。然后,运用系统辨识的方法,设计了微定位系统的扫频实验,建立其数学模型。接着,提出了在已有数学模型的基础上,运用实际测量数据和MATLAB/Simulink软件仿真试凑来设计控制器的方法,并设计了满足精度指标要求的控制器。最后,将设计的控制器应用于微定位系统并进行模拟刻划实验,实验结果可知:所设计的微定位系统控制器定位精度基本满足指标要求,其中峰-峰值小于40 nm,RSM值总体略大于2.8 nm。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53486]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	糜小涛,于宏柱,高键翔,等. 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计[J]. 仪器仪表学报,2015(02):473-480.
APA	糜小涛,于宏柱,高键翔,于海利,张善文,&齐向东.(2015).大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计.仪器仪表学报(02),473-480.
MLA	糜小涛,et al."大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计".仪器仪表学报 .02(2015):473-480.