Slope RMS在三镜支撑设计与面形评价中的应用

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	Slope RMS在三镜支撑设计与面形评价中的应用
	李明璇; 张景旭; 陈宝刚; 杨飞
刊名	激光与红外
	2015-11-20
期号	11 页码:1349-1354
关键词	斜率均方根三镜支撑泽尼克多项式面形拟合
中文摘要	针对镜面面形均方根(RMS)无法反映表面面形的空间频域特性,借鉴了国际上先进的斜率均方根(Slope RMS)作为面形评价方法。本文以2 m级望远镜三镜作为例子,将Slope RMS作为优化目标函数,计算了支撑点的位置,给出的支撑之后面形误差RMS值为6.88 nm,在空间间隔为0.25 mm时的Slope RMS值为0.17809μrad。利用Zernike多项式作为面形拟合基底函数,将对成像质量没有影响的刚体位移从面形误差中分离出来,得到最终的面形误差的RMS值为3.30 nm,在空间间隔为0.25 mm时的Slope RMS值为0.15943μrad。研究结果表明,以Slope RMS为目标函数优化支撑点的支撑结果位置满足光学设计的要求,对更大口径光学元件的支撑设计提供了一种指导方法。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53391]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	李明璇,张景旭,陈宝刚,等. Slope RMS在三镜支撑设计与面形评价中的应用[J]. 激光与红外,2015(11):1349-1354.
APA	李明璇,张景旭,陈宝刚,&杨飞.(2015).Slope RMS在三镜支撑设计与面形评价中的应用.激光与红外(11),1349-1354.
MLA	李明璇,et al."Slope RMS在三镜支撑设计与面形评价中的应用".激光与红外 .11(2015):1349-1354.