61单元音圈电机变形镜波前拟合能力分析

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	61单元音圈电机变形镜波前拟合能力分析
	孙晓林,官春林,周虹
刊名	光学学报
	2015
卷号	35 期号:s1 页码:351-357
关键词	光学设计自适应光畸变校正变形镜音圈电机
通讯作者	孙晓林
中文摘要	变形镜作为自适应光学系统的核心器件，波前拟合能力是其主要性能参数。设计了三角形、正方形、环形3种驱动器排布方案，采用Ansys建模提取了驱动器影响函数。对比仿真分析了设计方案对低阶基元像差及其1000帧组合像差的拟合能力。结果表明：环形排布为非接触、力驱动器的最佳排布方案，对组合像差的拟合残差均方根值平均值为0.016 μm；环形排布变形镜对离焦和像散峰谷值分别大于30 μm和15 μm时均有很好的拟合能力。分析了单驱动器失效对变形镜波前拟合能力的影响，结果表明，驱动器失效对音圈电机变形镜拟合能力影响甚小，拟合残差均方根值变化小于0.01 μm。
收录类别	Ei
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6464]
专题	光电技术研究所_自适应光学技术研究室（八室）
作者单位	中国科学院光电技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	孙晓林,官春林,周虹. 61单元音圈电机变形镜波前拟合能力分析[J]. 光学学报,2015,35(s1):351-357.
APA	孙晓林,官春林,周虹.(2015).61单元音圈电机变形镜波前拟合能力分析.光学学报,35(s1),351-357.
MLA	孙晓林,官春林,周虹."61单元音圈电机变形镜波前拟合能力分析".光学学报 35.s1(2015):351-357.