用于碳化硅生长的高温装置及方法 | |
刘兴昉 ; 刘斌 ; 闫果果 ; 刘胜北 ; 田丽欣 ; 申占伟 ; 王雷 ; 赵万顺 ; 张峰 ; 孙国胜 ; 曾一平 | |
专利国别 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院半导体所 |
学科主题 | 半导体材料 |
公开日期 | 2016-09-28 |
申请日期 | 2015-01-08 |
专利申请号 | CN201510008972.X |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27619] |
专题 | 半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘兴昉,刘斌,闫果果,等. 用于碳化硅生长的高温装置及方法. |
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