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	THz天线阵列的制作方法
	梁松 ; 朱洪亮
专利国别	中国
专利类型	发明
权利人	中国科学院半导体所
学科主题	半导体材料
公开日期	2016-08-30
申请日期	2014-08-20
专利申请号	CN201410412325.0
内容类型	专利
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27296]
专题	半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	梁松,朱洪亮. THz天线阵列的制作方法.

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