题名 | 离子束溅射沉积制备六方氮化硼二维原子晶体 |
作者 | 王浩林 |
学位类别 | 博士 |
答辩日期 | 2016-05-30 |
授予单位 | 中国科学院研究生院 |
授予地点 | 北京 |
导师 | 张兴旺 |
关键词 | 六方氮化硼 二维原子晶体 离子束溅射沉积 衬底 大尺寸晶畴 |
学位专业 | 材料物理与化学 |
学科主题 | 半导体材料 |
公开日期 | 2016-07-07 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27204] |
专题 | 半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王浩林. 离子束溅射沉积制备六方氮化硼二维原子晶体[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2016. |
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