题名Si基InAsSb纳米线MOCVD生长及机理研究
作者杜文娜
学位类别博士
答辩日期2016-05-30
授予单位中国科学院研究生院
授予地点北京
导师王占国 ; 杨涛
关键词InAsSb纳米线 生长机制 平面纳米线 纳米线阵列 金属有机化学气相沉积
学位专业材料物理与化学
学科主题半导体材料
公开日期2016-05-31
内容类型学位论文
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27100]  
专题半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
杜文娜. Si基InAsSb纳米线MOCVD生长及机理研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2016.
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