紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO_2光波导器件

CORC > 半导体研究所 > 中国科学院半导体研究所 > 中国科学院半导体研究所（2009年前）

	紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO_2光波导器件
	王玥; 安俊明; 尹小杰; 张家顺
刊名	半导体学报
	2007
卷号	28 期号:7 页码:1130-1133
中文摘要	利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶(sol-gel)SiO_2材料,在硅基片上旋涂成膜.研究了薄膜折射率和厚度随紫外曝光时间、后烘温度及时间等外界工艺条件的变化关系.利用紫外光直写技术,制作出1×2,1×4多模干涉(MMI)型分束器,并且观测到了分光效果较好的近场输出图像.
英文摘要	利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶(sol-gel)SiO_2材料,在硅基片上旋涂成膜.研究了薄膜折射率和厚度随紫外曝光时间、后烘温度及时间等外界工艺条件的变化关系.利用紫外光直写技术,制作出1×2,1×4多模干涉(MMI)型分束器,并且观测到了分光效果较好的近场输出图像.; 于2010-11-23批量导入; zhangdi于2010-11-23 13:01:47导入数据到SEMI-IR的IR; Made available in DSpace on 2010-11-23T05:01:47Z (GMT). No. of bitstreams: 1 4063.pdf: 462327 bytes, checksum: 675358e3ca70adaafcc1fdc2beabd024 (MD5) Previous issue date: 2007; 国家自然科学基金资助项目; 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心
学科主题	光电子学
收录类别	CSCD
资助信息	国家自然科学基金资助项目
语种	中文
公开日期	2010-11-23 ; 2011-04-28
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/16303]
专题	半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前）
推荐引用方式 GB/T 7714	王玥,安俊明,尹小杰,等. 紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO_2光波导器件[J]. 半导体学报,2007,28(7):1130-1133.
APA	王玥,安俊明,尹小杰,&张家顺.(2007).紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO_2光波导器件.半导体学报,28(7),1130-1133.
MLA	王玥,et al."紫外光直写杂化溶胶-凝胶SiO_2光波导器件".半导体学报 28.7(2007):1130-1133.