一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置
杨为家; 陈明辉; 何鑫; 吴质朴; 何畏; 陈强; 曾庆光; 刘乐
2019-07-23
著作权人五邑大学
专利号CN209148245U
国家中国
文献子类实用新型
其他题名一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置
英文摘要本实用新型涉及一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置,包括氧化炉腔体、加热装置、高温水蒸气发生装置、红外成像仪、控制系统,加热装置设置在氧化炉腔体下端,高温水蒸气发生装置通过管道与氧化炉腔体相连通,所述的红外成像仪设置在氧化腔体的上端,部分所述的红外成像仪伸入氧化炉腔体内,红外成像仪与控制系统连接,本实用新型结构简单、设计合理、实用性强,通过加热装置VCSEL加热,并通过高温水蒸气发生装置将产生的高温水蒸气输送至腔体中,实现VCSEL的氧化,然后通过红外成像仪实现氧化前后的图像采集,并通过控制系统处理得到氧化物限制窗口的大小和氧化速率,该装置结构简单,进一步降低了测试成本,而且测试简单、易操作,测试结果准确。
公开日期2019-07-23
申请日期2018-07-17
状态授权
内容类型专利
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/38763]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位五邑大学
推荐引用方式
GB/T 7714
杨为家,陈明辉,何鑫,等. 一种用于垂直腔面发射激光器的测试装置. CN209148245U. 2019-07-23.
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